Warunki syntezy układów cienkowarstwowych - właściwości - zastosowania

Badania naukowe prowadzone w ciągu trzech ostatnich lat można podzielić na dwie grupy:

  • układy nanopowłok wielowarstwowych nanoszonych na wielkogabarytowe podłoża w warunkach przemysłowych,
  • właściwości optyczne i mikrostrukturalne cienkich warstw metalicznych oraz półprzewodnikowych (organicznych i nieorganicznych).

Technologie cienkowarstwowe są coraz częściej stosowane w przemyśle. Cienkie warstwy modyfikują właściwości detali, czy też nadają im zupełnie nowe właściwości; np. warstwa Ti(Cr,Al)N, prawidłowo naniesiona na frez powoduje zmniejszenie jego zużycia w trakcie pracy nawet o kilkaset procent. W ostatnich latach bardzo szybko rozwijają się technologie związane z warstwami funkcjonalnymi nanoszonymi na powierzchnie szklane. W nowoczesnym budownictwie stosuje się szkło niskoemisyjne (low-E) z cienką warstwą srebra, czy też szkło z warstwami antyrefleksyjnymi. Obserwuje się, że wszystkie funkcje przejmują warstwy, natomiast szkło staję się tylko nośnikiem. Związane jest to z bardzo szybkim rozwojem technik (głównie magnetronowych) umożliwiających nanoszenie warstw na wielkogabarytowe podłoża (np. 2 m x 3 m), a także z rozwojem samych cienkich warstw. Obecnie problemem nie jest otrzymanie powłoki o grubości poniżej 100 nm, a precyzyjna kontrola jej grubości oraz otrzymanie warstwy, czy układu warstw o jednakowych właściwościach (w tym grubości) na całej powierzchni wielkogabarytowego podłoża. Prace badawcze prowadzone w tym zakresie w ciągu ostatnich kilku lat dotyczyły interferencyjnych układów na bazie TiO2 i Ti do zastosowania miedzy innymi w przeszkleniach architektonicznych.

Kontakt:
dr inż. Łukasz Skowroński


Drukuj